Магнетронного распыления представляет собой новый способ покрытия из паровой фазы, методы испарения покрытия по сравнению с предыдущими пунктов, многие его преимущества очевидны. Как это было в развитие более зрелой технологией, магнетронного распыления был использован во многих областях.

Магнетронного распыления принцип : мишень распыленных электрод (катод) , приложенного между анодом иортогональных магнитных и электрических полей в высоком вакууме камере, заполненной инертным газом, не требуется ( обычно аргон ) , постоянный магнит в материале мишени образуется на поверхности 250 до 350 гс , с высоковольтным электрическим полем , состоящей из ортогональных электромагнитных полей. В электрическом поле , аргон ионизируется в положительных ионов и электронов , цели плюс определенный отрицательного давления , вероятность ионизации электрона эффекта магнитного поля с рабочего газа из целевой электродных испускаемых увеличивается вблизи катода с образованием высокой плотности плазмы корпус , ионы Ar ускоряется под действием силы Лоренца в направлении поверхности мишени в высокой скорости бомбардировки поверхности мишени , так что цель распыленных атомов следовать принцип передачи импульса от высокой кинетической энергией по направлению к поверхности мишени подложки осаждения пленок . Магнетронного распыления как правило, делится на два вида: приток распыление и РФ распыление , впадающей распыления устройства, которое является простым в принципе, при распылении металла, его скорость также быстро. Использование более широкого спектра РЧ напылением , распыление может быть проводящий материал , кроме того, распыление может быть также непроводящий материал , оксид также получены путем отдела реакционного распыления , нитрида или карбида соединения материала. При повышении частоты РЧ после его принятия микроволновая плазменного напыления , нынешний обычно используется электронного циклотронного резонанса ( ЭЦР) микроволновая плазменного напыления .

Магнетронного распыления мишени:

Металл мишеней, литые мишеней, керамические мишени распыления, керамическая распыление целевой борид, карбид, керамическая цели распыления, керамическая нитрида распыление целевой фторид целевой керамическая распыление, оксид керамическая мишень, селенида целевой керамическая распыление, силицидные керамических мишеней напыления, керамические распыления мишени сульфиды теллуриды керамических мишеней напыления, другой керамической мишени, оксид хрома, легированного кремния керамической мишени (Cr-SiO), цель фосфида индия (ИЯФ), мышьяка свинцовой мишени (PBAS), арсенида индия цель (InAs).

Высокая плотность высокой чистоты распыления мишени:

Распыления мишени (чистота: 99,9% -99,999%)

1.металл цель:

Никель цель, Ni, Ti цель, Ti, Zn цель, Zn, Cr цель, Cr, Mg цель, Mg, Nb цель, Nb, Sn цель, Sn, Al цель, Al, индия цель, В, Fe цель, Fe, целевой циркония алюминия, ZrAl, алюминиевой мишени титана, TiAl, цирконий цель, Zr, Al-Si цель, AlSi, кремниевая мишень, Si, Cu целевой Cu, цель тантала Т, а, мишенью германий, Ge, серебро цель, Ag, целевой кобальта, Со, золото цель, Au, Б-г целевой, Б-г, целевая лантана, La, иттрия цель, Y, Се цель, Се, цель вольфрама, ж, из нержавеющей стали цели, цель никель-хром, NiCr, гафний цель , Hf, маммография, Мо, цель железо-никелевый, FeNi, цель вольфрама, W и т.д.

2.керамическая мишень

ITO мишень, оксид магния мишень, цель оксид железа, мишенью из нитрида кремния, карбид кремния мишень, мишень из нитрида титана, оксид хрома мишень, мишень из оксида цинка, сульфид цинка мишень, мишень из диоксида кремния, оксида кремния цели, церий диоксид целевой оксид циркония цель, цель пятиокиси ниобия, цель диоксид титана, цель диоксида циркония, оксида гафния цели, цели диборида титана, циркония диборида цели, цели триоксида вольфрама, оксид алюминия целевой пятиокиси тантала, пятиокиси ниобия цель, мишенью фторида магния, цель иттрия фторид, селенида цинка цель, мишень из нитрида алюминия, нитрида кремния цели, цели нитрида бора, нитрида титана цели, цели карбида кремния, целевой литий ниобия кислота, цель празеодима титаната, титаната бария цель, цель лантана титанат, цель оксид никеля, мишеней.